YAMATO · 423633403548

Máy làm sạch bằng Plasma Yamato PDC210 (328211, 500W)

Sẵn hàngBảo hành: 1 nămXuất xứ: -
Liên hệ
Mã sản phẩm
423633403548
Model
PDC210
Mã nội bộ
YAMATO - PDC210
Hãng sản xuất
YAMATO
  • Chế độ Plasma: RIE (chế độ DP option)
  • Cấu trúc điện cực: Tấm phẳng song song
  • Máy đo chân không: máy đo điện dung
  • Đầu ra tần số cao: Max 300W
  • Tần số dao động: 13.56MHz Quartz oscillator
  • Phương pháp cài đặt đầu ra: Cài đặt thủ công trên bảng điều khiển cảm ứng LCD
Số lượng
Gọi tư vấn
  • Chế độ Plasma: RIE (chế độ DP option)
  • Cấu trúc điện cực: Tấm phẳng song song
  • Máy đo chân không: máy đo điện dung
  • Đầu ra tần số cao: Max 300W
  • Tần số dao động: 13.56MHz Quartz oscillator
  • Phương pháp cài đặt đầu ra: Cài đặt thủ công trên bảng điều khiển cảm ứng LCD
  • Phương pháp: Tự động điều chỉnh
  • Kích thước buồng: W400×D250×H150mm
  • Kích thước làm việc: W250×D170mm
  • Vật liệu buồng: Nhôm
  • Khí phản ứng: 2 hệ (Argon, Oxy)
  • Xả khí: Nitơ hoặc không khí khô
  • Kiểm soát lưu lượng khí phản ứng: Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng
  • Bơm chân không quay: 345L/phút. (bao gồm)
  • Kích thước bên ngoài (W×D×H mm): W540×D600×H600mm
  • Nguồn điện: AC220V ~ AC 415V 3 pha với máy hạ áp